工業烤箱-HMDS烘箱的工作流程

和呈的HMDS系列的烘箱其工烘箱作流程首先是確定工作溫度，典型的預處理程度爲：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度後，開始充入氮氣，充到達到某低真空度後，再次進行抽真空，在到達設定時間後，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使矽片充分受熱，減少矽片表面的水分，工業烤箱然 後再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間後，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使矽片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間後，再次 開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。HMDS與矽片反應機理：首先加熱到100度-200度，去除矽片表面的水分，然後HMDS與表面的OH一反乾燥機應，在矽片表而成矽醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面，整個反應持續到空間位阻（三甲基矽烷基較大）阻止其進一步反應。